顶立科技HCVD-101015-ZrC**高温碳化物沉积炉 碳碳复合材料沉积炉

湖南顶立科技股份有限公司

**高温碳化物沉积炉

• 产品描述：

• **高温碳化物沉积炉主要用于碳碳复合材料及其它新型炭材料等**高温陶瓷化处理

• 应用范围：

• 炭炭板材、炭炭喷管等

**高温碳化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；

可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂。

**高温碳化物沉积炉配置选择

结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式：手动/自动

炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢

保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质：石墨/CFC

热电偶：C/S分度号

红外仪：单比色/双比色

真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组